本文源自:金融界
金融界2024年11月21日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司取得一项名为“电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备”的专利，授权公告号CN 222021380 U，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本申请提供一种电涡流终点检测装置及包括其的化学机械抛光设备。所述电涡流终点检测装置包括壳体、PCB板以及控制模块。所述PCB板封装在所述壳体中，并包括集成在其中的谐振电路，所述谐振电路包括感应线圈；所述控制模块与所述PCB板电连接，所述控制模块基于所述谐振电路中的电流信号检测朝向所述PCB板设置的晶圆的金属膜的厚度。根据本申请的技术方案，通过将感应线圈集成在PCB板中，提高了感应线圈的制造精度和集成效率，避免了传统绕线线圈制造误差较大及检测偏差较大的问题，提高了终点检测的精确性和一致性。
