本文源自:金融界
金融界 2024 年 11 月 21 日消息,国家知识产权局信息显示,昆山迈瑞凯精密工业有限公司取得一项名为“一种带负压反吹的吸盘”的专利,授权公告号 CN 222021503 U,申请日期为 2024 年 4 月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体设备技术领域,特别是涉及一种带负压反吹的吸盘,包括底板,装配于底板上、连通底板底部端面的进气盘,沿进气盘周向等分布设、且贯穿底板设置反吹孔,设于进气盘上、且沿进气盘周向等分布设于反吹孔上方的反吹组件,进气盘一侧设有进气口,通过进气盘上、且沿进气盘周向等分布设于反吹孔上方的反吹组件能够实现利用反吹组件外接反吹气源配合反吹孔实现吸取动作完成后的反吹动作,可拆卸的连接于进气盘上的反吹架能够方便反吹架的位置调整,反吹架延伸至反吹孔上方设置,能够提高反吹架的反吹工作覆盖面,更好的实现反吹处理。
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