本文源自:金融界
金融界2024年11月21日消息，国家知识产权局信息显示，苏州迅微纳半导体科技有限公司申请一项名为“一种电容式薄膜真空计”的专利，公开号 CN 118980451 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明揭示一种电容式薄膜真空计，其包括外壳、金属薄膜压力感应单元、第一加热组件、第二加热组件和温度控制单元。外壳包括内壁和由内壁围设形成的收容空间。金属薄膜压力感应单元悬置于收容空间中。第一加热组件包括设置于内壁的第一加热单元和第一测温单元。第二加热组件包括设置于金属薄膜压力感应单元的第二加热单元和第二测温单元。温度控制单元连接第加热组件和第二加热组件温度控制单元通过第测温单元和第二测温单元控制第一加热单元和第二加热单元。第一加热单元和第二加热单元通过二级加热，能使电容式薄膜真空计的温度快速达到稳态，提高效率，提升检测精度。
