ASM IP 申请形成外延叠层的方法及其衬底处理设备专利，形成外延叠层_

本文源自:金融界

金融界 2024 年 11 月 22 日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“形成外延叠层的方法及其衬底处理设备”的专利，公开号 CN 118983216 A，申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示，公开了一种用于在衬底上外延形成外延叠层的方法。目前描述的方法的实施例包括执行多个沉积循环以形成外延叠层，由此每个沉积循环包括沉积脉冲以形成外延叠层的各个外延层。