本文源自:金融界
金融界2024年11月22日消息，国家知识产权局信息显示，极电光能有限公司取得一项名为“复合膜层的连续镀膜装置”的专利，授权公告号 CN 222024489 U ，申请日期为 2024 年 3 月。
专利摘要显示，本申请公开了一种复合膜层的连续镀膜装置，该连续镀膜装置包括气相输运装置、基片预热装置和原子层沉积装置，气相输运装置包含有第一蒸气供应模组和气相沉积室；基片预热装置包含基片预热室和加热模组，基片预热室连通于气相沉积室的出料端；原子层沉积装置包括第二蒸气供应模组和原子沉积室，原子沉积室连通于基片预热室的出料端；气相沉积室、基片预热室和原子沉积室内均设置有用于传送基片的传送装置和用于抽真空的真空装置；气相沉积室、基片预热室和原子沉积室之间分别设置有阀门，基片通过若干传送装置在真空环境状态下依次通过气相沉积室、基片预热室和原子沉积室。由此，可以降低设备成本和消除膜层表面污染的可能性。
