本文源自:金融界
金融界2024年11月22日消息，国家知识产权局信息显示，江苏润阳世纪光伏科技有限公司取得一项名为“一种PECVD沉积腔室”的专利，授权公告号CN 222024482 U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种PECVD沉积腔室，在沉积腔室本体的顶部内侧固定连接有固定座，固定座上连接有第一电极，沉积腔室本体的下部内侧设有第二电极，第二电极的下方设有升降组件，第二电极上连接有载具，通过第一固定勾件和第一活动勾件配合第一固定边上的第一卡槽将第一电极夹持固定在固定座的底面，在螺纹旋钮松开时即可将第一活动勾件移除，同时通过第二固定勾件和第二活动勾件配合载具上的第二卡槽将载具固定夹持在第二电极上，其中可以通过挤压第二活动勾件的底部，使得第二活动勾件偏转，方便将载具取下，同时第一活动勾件和第二活动勾件均设在沉积腔室本体的前侧，从而无需伸入沉积腔室本体即可进行固定安装和拆卸的操作。
