连科半导体取得适用于8吋碳化硅外延的TCS控制系统专利，保障TCS浓度恒定及外延沉积速率为恒定值_

本文源自:金融界

金融界2024年11月26日消息，国家知识产权局信息显示，连科半导体有限公司取得一项名为“一种适用于8吋碳化硅外延的TCS控制系统”的专利，授权公告号 CN 222043412 U，申请日期为2024年2月。

专利摘要显示，本实用新型属于电路控制技术领域，具体的说是一种适用于8吋碳化硅外延的TCS控制系统，包括鼓泡器，所述鼓泡器与恒温水槽相连接，所述鼓泡器内设置有温度传感器，所述温度传感器用以实时检测鼓泡器内的温度变化，所述鼓泡器连接有储液罐，通过TCS在鼓泡器中鼓泡后，通过气路进入浓度监测器，浓度监测器监测鼓泡出来TCS的浓度；随着碳化硅外延生长过程的进行，当氢气中TCS的浓度出现波动时，PZC控制器将会改变质量流量控制器的设定值，使得进入工艺腔体中的TCS质量输运率为恒定值，从而保障TCS浓度恒定及外延沉积速率为恒定值。