本文源自:金融界
金融界2024年11月26日消息，国家知识产权局信息显示，长沙安思新能源科技有限公司申请一项名为“半导体或光伏行业含硅烷尾气的高纯单组分尾气回收系统”的专利，公开号CN 119015835 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明涉及含硅烷尾气的回收利用领域，具体涉及半导体或光伏行业含硅烷尾气的高纯单组分尾气回收系统。本发明提供半导体或光伏行业含硅烷尾气的高纯单组分尾气回收系统，所述高纯单组分尾气回收系统包括依次设置的原料气压缩机模块、预处理模块、一级膜分离组件和二级膜分离组件。本发明采用变温吸附结合膜分离的方式来针对半导体或光伏行业含硅烷尾气进行回收处理，不仅能够降低生产成本，还能够解决环保隐患。
