本文源自:金融界
金融界2024年11月26日消息，国家知识产权局信息显示，上海涛鑫电子设备有限公司申请一项名为“一种具有角度调节功能的硅片清洗设备”的专利，公开号 CN 119016404 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种具有角度调节功能的硅片清洗设备，涉及硅片清洗技术领域，该具有角度调节功能的硅片清洗设备包括柜体，所述柜体的顶部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴穿过穿孔，且驱动电机的输出轴上安装有调整盘，所述调整盘上安装有模组导轨，所述模组导轨上安装有第一滑座，所述第一滑座上安装有弧形导轨，所述弧形导轨上安装有第二滑座，所述第二滑座上安装有喷淋管，启动驱动电机，可以让驱动电机通过调整盘带动模组导轨和弧形导轨进行径向转动调节，启动模组导轨，可以让第一滑座带动弧形导轨进行径向平移调节，并且，可以通过启动弧形导轨，能让第二滑座带动喷淋管进行喷淋角度上的调节，有利于调高喷淋管对硅片的清洗效果。
