本文源自:金融界
金融界2024年11月26日消息，国家知识产权局信息显示，上海劢珑科技有限公司申请一项名为“一种压电MEMS悬臂梁式传感器”的专利，公开号CN 119018840 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本申请提供一种压电MEMS悬臂梁式传感器，涉及微机电技术领域，包括固定端和连接于固定端的悬臂梁,悬臂梁和固定端之间设置连接层，悬臂梁包括层叠的结构层、至少两层电极层，相邻电极层之间设置压电层,结构层内形成中性面,中性面不受拉应力也不受压应力，靠近中性面的电极层的刚度大于远离中性面的电极层的刚度，和/或，靠近中性面的电极层的厚度大于远离中性面的电极层的厚度。离中性面近的电极层选择刚度大、厚度厚的薄膜材料可增加悬臂梁的刚度，提高悬臂梁的工作频率范围；离中性面远的电极层选择刚度小、更薄的薄膜材料能增大对应电极层表面的应力，增大δ2‑δ1，增大输出灵敏度；同时提高传感器的输出灵敏度、工作频率范围。
