本文源自:金融界
金融界 2024 年 11 月 26 日消息，国家知识产权局信息显示，云际芯光（珠海）微电子有限公司、天津大学申请一项名为“一种一体式的谐振式石英加速度计的制造方法”的专利，公开号 CN 119018847 A，申请日期为 2024 年 10 月。
专利摘要显示，本发明公开一种一体式的谐振式石英加速度计的制造方法，包括：选用石英片，对石英片依次进行酸洗、碱洗和 DI 水冲洗，得到处理后的石英片；进行镀膜，形成膜层；形成带有加速度计结构图案的金属硬掩模的石英片；放入第一种有机刻蚀溶液进行湿法刻蚀；对石英片上的侧壁进行消棱；石英片的铰链厚度方向的下表面形成金属硬掩模和悬臂梁厚度方向的上表面形成金属硬掩模，然后将石英片放入第二种有机刻蚀溶液进行刻蚀，以得到悬臂梁和铰链；去除石英片的表面膜层；对石英加速度计的悬臂梁的表面进行制作电极，得到最终的石英加速度计。本发明使得石英加速度计的灵敏度提高约 4 倍，并保证了其机械稳定性，以及还大幅增加机电耦合系数。
