武汉市三选科技申请光固化型晶圆研磨保护胶带专利,提高晶圆研磨保护效果

武汉市三选科技申请光固化型晶圆研磨保护胶带专利,提高晶圆研磨保护效果
2024年11月27日 08:35 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年11月27日消息,国家知识产权局信息显示,武汉市三选科技有限公司申请一项名为“光固化型晶圆研磨保护胶带及其制备方法、晶圆减薄方法”的专利,公开号 CN 119019947 A,申请日期为2024年10月。

专利摘要显示,本发明提供了一种光固化型晶圆研磨保护胶带及其制备方法、晶圆减薄方法,晶圆研磨保护胶带包括粘结层和基材层,基材层由热塑性聚氨酯制成,以便对晶圆进行切割;粘结层以质量百分比计包括以下组分:改性丙烯酸树脂61%~63%,硬化剂1.5%~3.5%,光引发剂1.0%~2.5%,延迟催化剂3.1%,有机纳米色粉0.3%,溶剂30%~32%,通过调节改性丙烯酸树脂与硬化剂、光引发剂之间的比例,来提高粘结层的成膜性和硬度,降低对晶圆的粘着力,进而控制晶圆研磨保护胶带与晶圆之间的剥离力,提高晶圆研磨保护胶带在研磨减薄过程中对晶圆的保护效果。本发明提供光固化型晶圆研磨保护胶带不仅具有超薄研磨功能,还能在晶圆研磨减薄过程中对晶圆提供保护,提高后续芯片的制作效率。

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