本文源自:金融界
金融界2024年11月27日消息，国家知识产权局信息显示，蒙城繁枫真空科技有限公司申请一项名为“一种低温真空蒸发镀膜设备”的专利，公开号 CN 119020732 A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明属于真空蒸发镀膜技术领域，本发明公开了一种低温真空蒸发镀膜设备，包括底架、蒸发罐、多层气体溢流器、水冷循环机构和行星伞机构，蒸发罐的内部嵌入安装有延伸出的多层气体溢流器，多层气体溢流器包括溢流管路、稳压阀、气体控制罩、整流板、叶片、联动环、外齿环、拨动槽板、伺服马达、齿轮。本发明通过溢流管路可以将风机输送的气体进行分级输送，通过整流板将气体分散，使其气体均匀输送至蒸发罐的内部，通过多路入气多级整流，即便是面对大面积的基片，其也可以使基片上的镀膜效果一致，可以明显提升整体镀膜均匀性；同时通过独立的气体控制罩独立调节各个独立气流控制区域的气流通入参数，保证了各区域的镀膜效果区域一致。
