本文源自:金融界
金融界2024年11月27日消息，国家知识产权局信息显示，翔名科技股份有限公司申请一项名为“锭状靶材与耐电浆腐蚀层的制造方法及耐电浆表面结构”的专利，公开号 CN 119020733 A，申请日期为2023年10月。
专利摘要显示，本发明提供一种制备锭状靶材的方法、使用该锭状靶材形成耐电浆腐蚀层的方法、与包括该耐电浆腐蚀层的耐电浆表面结构。在制备锭状靶材的方法中，其包括以下步骤。首先选择多种粒径为20微米到100微米之耐电浆腐蚀材料，添加有机溶剂，制备成浆料，再用球磨法均匀混合，烘干去除有机溶剂，过筛选取适当大小之粉末材料，加入助烧结剂，再加压形成锭状毛坯，最后高温烧结成形为一锭状靶材。所选择之粉末材料所选择之粉末材料可选用Y2O3、YOF、YAG、及Al2O3等材料，且掺杂重量百分比为1‑30％之镧系元素化合物，该镧系元素化合物选自镧系元素之氧化物、氮化物、盐类化合物所组成之群组。制备锭状靶材的方法能够提供更高质量之 耐电浆腐蚀层。
