本文源自:金融界
金融界2024年11月27日消息，国家知识产权局信息显示，苏州中科重仪半导体材料有限公司申请一项名为“过滤系统及包括其的薄膜沉积设备”的专利，公开号CN 119020751 A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种过滤系统及包括其的薄膜沉积设备。根据本发明实施例的过滤系统包括进气口；进气腔，所述进气腔与所述进气口相连通；待过滤气体经由所述进气口进入所述进气腔；出气腔，所述出气腔设置在所述进气腔的一侧，所述出气腔用于容纳过滤后气体；滤芯，所述滤芯介于所述进气腔和所述出气腔之间，所述滤芯用于过滤所述待过滤气体以得到所述过滤后气体；以及振动器，所述振动器设置在所述出气腔中，所述振动器提供振动以清洁所述滤芯上的滤渣。根据本发明实施例的过滤系统及包括其的薄膜沉积设备，能够方便、高效、快捷地实现滤芯的清洁，延长过滤系统的使用寿命。
