赛瑞达智能取得炉体及工艺炉专利,降低炉管在高温下受重力作用下垂的几率

赛瑞达智能取得炉体及工艺炉专利,降低炉管在高温下受重力作用下垂的几率
2024年11月27日 11:35 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年11月27日消息,国家知识产权局信息显示,赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司取得一项名为“炉体及工艺炉”的专利,授权公告号CN 222048584 U,申请日期为2023年12月。

专利摘要显示,本申请提供一种炉体及工艺炉,涉及半导体设备技术领域,该炉体包括炉管、炉门、密封机构和两个第一支撑机构。炉管沿第一方向延伸的一端具有炉口,密封机构设置于炉管朝向炉口的一端,炉门通过密封机构与炉管相连并通过密封机构密封炉口,两个第一支撑机构在垂直于第一方向的第二方向上间隔排布,炉管位于两个第一支撑机构之间,两个支撑机构用于与工艺炉的主体部相连,两个第一支撑机构用于支撑炉管,从而能够降低炉管在高温下受重力作用下垂的几率,提高了炉体的使用稳定性以及使用寿命。

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