本文源自:金融界
金融界2024年11月27日消息,国家知识产权局信息显示,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请一项名为“种流阻检测设备及流阻检测方法”的专利,公开号 CN 119023199 A,申请日期为 2024年7月。
专利摘要显示,本发明公开了一种流阻检测设备及流阻检测方法,流阻检测设备用于检测喷淋板的阻流,流阻检测设备包括:供气装置、气路、检测装置、节流阀和流阻检测组件;气路一端连接于供气装置,气路另一端分支形成第一气路和第二气路,第一气路和第二气路之间并联有压差计;检测装置与第一气路连接,喷淋板安装于检测装置,第一气路输送的气体在检测装置中经过喷淋板;节流阀设置于第二气路;流阻检测组件设置于第二气路且用于检测第二气路的流阻。本发明通过调节节流阀开度来消除第一气路和第二气路之间的压差,再获取第二气路的流阻以实现等效获取喷淋板的流阻,有效简化了喷淋板流阻检测的结构和方法,具有检测时间短、准确度高的优点。
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