本文源自:金融界
金融界2024年11月27日消息,国家知识产权局信息显示,上海谦视智能科技有限公司取得一项名为“一种集成刻字码读取功能的晶圆预对准平台”的专利,授权公告号CN 222051729 U,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种集成刻字码读取功能的晶圆预对准平台,包括支撑组件,支撑组件用于放置晶圆,设于晶圆的下方,具有水平的支撑面,支撑组件包括旋转台以及预对齐台;光源组件,用于在支撑组件上形成晶圆的照明光场;对齐组件,对齐组件包括对齐相机,对齐相机用于拍摄晶圆和支撑组件的图像,晶圆的边缘设有定位边,对齐相机用于定位定位边;以及读码组件,本实用新型相较于传统的光学预对准的方式而言,不需要旋转整圈只需要旋转180度就可以找到圆心降低了晶圆预对准装置的制造成本和提高预对准效率。

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