本文源自:金融界
金融界2024年11月28日消息，国家知识产权局信息显示，一道新能源科技股份有限公司申请一项名为“一种镀氧化铝膜的方法太阳能电池”的专利，公开号CN 119028805 A，申请日期为2023年5月。
专利摘要显示，本发明提供了一种镀氧化铝膜的方法、太阳能电池，涉及光伏技术领域。方法包括：将硅片放入原子层沉积机台的腔室，对原子层沉积机台进行检漏之后，通入臭氧，对硅片的表面进行吹扫，并在硅片的表面生成氧化硅膜；进行第一氮气通入，对腔室进行吹扫；在氧化硅膜的表面生成氧化铝膜。通入臭氧，对硅片的表面进行吹扫，将硅片表面的粉尘吹扫去除，臭氧和硅片反应在硅片的表面生成氧化硅膜，可以对硅片进行更好地钝化。通入臭氧，还用于对腔室的硅片表面之外的其他位置进行吹扫，提高腔室的洁净度。进行第一氮气通入，对腔室进行吹扫，可以进一步提高腔室的洁净度，能够改善沉积氧化铝膜工序时掉落到硅片表面的粉尘导致的EL黑斑黑点的情况。
