华道超精申请具有旋转纠偏功能的晶圆快速定位二维柔性铰链平台专利，方便实现运动叠加_

本文源自:金融界

金融界2024年11月28日消息，国家知识产权局信息显示，佛山市华道超精科技有限公司申请一项名为“具有旋转纠偏功能的晶圆快速定位二维柔性铰链平台”的专利，公开号 CN 119028894 A，申请日期为 2024年8月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体加工设备技术领域，公开了具有旋转纠偏功能的晶圆快速定位二维柔性铰链平台，包括基座和固定于所述基座顶部的旋转平台，所述旋转平台的内部设置晶圆，还包括设置于所述旋转平台内的外框架和内框架，所述外框架、所述内框架位于所述旋转平台内壁与所述晶圆之间，且外框架与所述旋转平台的内壁固定连接，所述内框架的外端面两侧均通过外柔性单元与所述外框架连接，所述内框架的内端面两侧均通过内柔性单元与所述晶圆连接。本发明的二维柔性定位平台由串联的柔性铰链结构和并联驱动的电机组合，方便实现运动叠加，配合在晶圆平台上设置将二维柔性铰链内嵌的旋转台，即实现晶圆旋转姿态的间歇调整和芯片位置偏差的实时调整。