本文源自:金融界
金融界 2024 年 11 月 28 日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“设备前端模块”的专利，公开号 CN 119028885 A，申请日期为 2024 年 5 月。
专利摘要显示，提供了一种衬底处理装置。该装置可以包括：设备前端模块(EFEM)，其包括由前壁、后壁、前壁和后壁之间的第一和第二侧壁、顶壁和底壁界定的壳体；装载端口，其连接到前壁并且配置成接收前开式晶圆传送盒(FOUP)；装载锁室，其连接到后壁并且配置成装载或卸载衬底；前端机器人，其设置在壳体中并且配置成在 FOUP 和装载锁之间转移衬底；风扇过滤单元(FFU)，其连接到顶壁并且配置成向壳体提供经过滤的空气；以及空气进气端口，其设置在 FFU 上方，该空气进气端口包括用于引入空气的空气入口和用于向 FFU 提供空气的空气出口；其中，空气入口的尺寸大于空气出口的尺寸。
