上海馨欧集成微电申请一种声波谐振器等专利,大幅削弱纵向高阶模式的强度

上海馨欧集成微电申请一种声波谐振器等专利,大幅削弱纵向高阶模式的强度
2024年11月28日 15:56 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年11月28日消息,国家知识产权局信息显示,上海馨欧集成微电有限公司申请一项名为“一种声波谐振器、声波滤波器及通信设备”的专利,公开号CN 119030491 A,申请日期为2024年7月。

专利摘要显示,本发明涉及微电子技术领域,特别涉及一种声波谐振器、声波滤波器及通信设备。该声波谐振器包括压电薄膜,以及位于所述压电薄膜上的顶电极和两个反射栅;所述顶电极的两侧分别设有一个所述反射栅;所述顶电极为叉指电极;所述叉指电极包括多个电极指,且多个所述电极指的延伸方向与所述声波谐振器的声波传播方向垂直;其中,所述压电薄膜上设有导电区,所述导电区位于所述反射栅的相邻反射条之间的区域。从而可以使得相应压电薄膜表面的边界条件由开路变为短路,声速降低,可以在不影响主模的前提下使得纵向高阶模式部分泄露到谐振器外部大幅削弱纵向高阶模式的强度。

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