本文源自:金融界
金融界2024年11月28日消息，国家知识产权局信息显示，厦门韫茂科技有限公司申请一项名为“一种应用于批量式peald设备的平板式等离子体发生装置”的专利，公开号CN 119031561 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明提供了一种应用于批量式peald设备的平板式等离子体发生装置，涉及离子体发生装置技术领域。包括：真空腔室、RF线圈、介质平板、进气管路以及栅网板；所述介质平板设置于所述真空腔室的外侧且正对基片位置；所述栅网板设置于所述真空腔室的与所述介质窗口相对的另一侧；所述进气管路延伸入所述真空腔室以向所述真空腔室提供工艺气体；所述RF线圈呈平板型螺旋对称结构安装在所述介质板远离真空腔室的一侧，以使等离子体均匀分布在正对着基片的介质平板上。通过本方案可以提高反应均匀性，使等离子发生装置结构更加简洁。
