本文源自:金融界
金融界2024年11月29日消息，国家知识产权局信息显示，捷造科技（宁波）有限公司取得一项名为“一种PVD产线的追片设备”的专利，授权公告号CN 222064655 U，申请日期为2024年2月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种PVD产线的追片设备，包括：进片室，所述进片室连接加热室，在所述进片室与所述加热室之间设置第一门阀，所述加热室连接缓冲室，在所述加热室与所述缓冲室之间连接第二门阀，所述缓冲室连接追片单元，所述追片单元连接工艺室，所述追片单元至少设置两个传感器，本实用新型的优点是：提高追片功能，使腔室内的载板间距控制在5‑10mm之间。缩短了镀膜时间，提高生产效率，减少附着在腔室内壁的靶材，减轻了对腔室的污染，降低了腔室清洗难度，延长了清洗周期，提高了生产效率。
