本文源自:金融界
金融界2024年11月29日消息,国家知识产权局信息显示,昆山力泰翔机械设备有限公司取得一项名为“一种水平式硅片电镀铜结构”的专利,授权公告号CN 222064688 U,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种水平式硅片电镀铜结构,包括:电镀槽体;横移机构,横移机构的底部和电镀槽体的顶部固定连接。本实用新型通过电镀槽体装有电镀的硫酸铜溶液,放置在基座架之上,电镀槽体内部下方装有导电钛板,沿着槽体的长度方向布置,电镀挂具在横移机构的上方,电镀挂具泡在溶液或者水中,电镀挂具的下方有活动式碳刷,电镀挂具移动时通过活动式碳刷与电镀槽体下方的钛板接触导电,夹爪手臂机构位于基座架的最上方,装有伺服电机驱动机构,可以沿着基座架的水平方向前后移动,夹爪手臂机构的下方设计有夹爪,可以抓取电镀槽体中的电镀挂具运送到下个工艺槽体中提高了设备的工作质量和工作效率。
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