合肥世纪金芯取得用于生长高质量碳化硅晶体的籽晶托专利,保障生成高品质的单晶

合肥世纪金芯取得用于生长高质量碳化硅晶体的籽晶托专利,保障生成高品质的单晶
2024年11月29日 18:22 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年11月29日消息,国家知识产权局信息显示,合肥世纪金芯半导体有限公司取得一项名为“一种用于生长高质量碳化硅晶体的籽晶托”的专利,授权公告号 CN 222064719 U,申请日期为 2023 年 12 月。

专利摘要显示,本实用新型涉及碳化硅晶体生长技术领域,尤其为一种用于生长高质量碳化硅晶体的籽晶托,包括坩埚盖和坩埚,所述坩埚盖设置在坩埚顶部,所述坩埚盖内部盖壁上固定连接有石墨导热盘,所述石墨导热盘边缘处呈圆周阵列固定设置有金刚石导热凸起,所述石墨导热盘下表面固定连接有石墨安装筒,所述石墨安装筒下端设置有籽晶托盘,所述籽晶托盘上表面固定连接有金刚石安装柱本实用新型中通过设置的金刚石安装柱和金刚石导热凸起,通过金刚石安装柱可以减小籽晶托盘中间与边缘之间的温差,保障安装在籽晶托上的籽晶受热均匀,籽晶上面生成的单晶内部应力小,达到实现生成高品质的单晶的目的。

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