本文源自:金融界
金融界2024年11月30日消息,国家知识产权局信息显示,安徽越好电子装备有限公司申请一项名为“真空镀膜设备的传送机构”的专利,公开号 CN 119040842 A,申请日期为 2024 年 10 月。
专利摘要显示,本申请涉及真空镀膜设备技术领域,公开一种真空镀膜设备的传送机构,包括:用于承载待镀膜工件的基板架;设置在基板架的一侧且沿第一方向延伸的滑轨,滑轨上设置有沿第一方向连续排列布置的第一磁性件;带有与滑轨配合的滑槽的滑座,第一磁性件置于滑槽内;可沿第一方向循环往复运动的环形的履带,履带设置有相对第一磁性件布置且沿第一方向间隔排列布置的第二磁性件,第二磁性件和第一磁性件的极性相同,且第二磁性件的表面磁力大于第一磁性件的表面磁力。本申请利用磁性履带与磁性滑轨之间的相互作用,能够实现无接触式的、高效和稳定地传送基板架,并且在传送过程中可有效避免粉尘的产生,从而有利于提升真空镀膜设备的使用性能。
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