本文源自:金融界
金融界2024年11月30日消息，国家知识产权局信息显示，杭州星原驰半导体有限公司申请一项名为“一种可调流量的喷淋盘装置及薄膜厚度控制方法”的专利，公开号 CN 119040858 A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种可调流量的喷淋盘装置及薄膜厚度控制方法，包括背板、喷淋盘、下扩散器、上扩散器、调节块和设置座，喷淋盘固定设置在背板上，背板和喷淋盘之间安装有下扩散器和上扩散器，上扩散器安装在下扩散器上方，下扩散器固定在背板上，设置座位于在背板和喷淋盘的中间，设置座安装在下扩散器上，设置座上开有多个空缺，空缺中用于容纳和定位调节块，的调节块设置有多块，调节块上开设多个不同规格的通孔，调节块的外轮廓与设置座上空缺的内轮廓相匹配，解决了喷淋盘只有气体均布的作用，无法对局部区域进行流量调节的技术问题。
