本文源自:金融界
金融界2024年11月30日消息，国家知识产权局信息显示，潍坊芯微电子设备有限公司取得一项名为“一种立式扩散炉炉管”的专利，授权公告号CN 222069228 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种立式扩散炉炉管，包括炉管本体，所述炉管本体顶端安装有输气管，所述顶管底端与冷凝外壳和冷凝内箱顶端连接固定，所述冷凝外壳和冷凝内箱底端贯穿安装有排液管，所述冷凝外壳外壁上固定安装有散热翅片，所述冷凝外壳和冷凝内箱另一侧顶部贯穿安装有转移管，所述转移管底端与回流连接管末端连接，所述回流连接管安装在炉管本体另一侧底部，所述转移管底部安装有气泵。该立式扩散炉炉管，采用新型的结构设计，能够在生产过程中对含有腐蚀性物质的气体进行快速排出，并对其中的腐蚀性物质进行高效冷凝回收，并能够令除杂后的气体快速回流进入炉管参与生产，延长了炉管使用寿命的同时，提高了生产效率。
