本文源自:金融界
金融界2024年11月30日消息，国家知识产权局信息显示，潍坊芯微电子设备有限公司取得一项名为“一种立式扩散炉气体循环装置”的专利，授权公告号CN 222069230 U，申请日期为2024年3月。专利摘要显示，本实用新型公开了一种立式扩散炉气体循环装置，其包括炉体，所述炉体的一侧固定安装有固定架，所述炉体通过固定架固定安装有过滤箱，所述炉体的一侧固定穿插安装有进气管。该一种立式扩散炉气体循环装置，本实用新 型通过炉体、过滤箱、风机、过滤芯、T形隔板、风量传感器、汇集管、U形管、电子阀门、三通连接头、导管、进气管、固定架、警报器、控制器和密封板的配合使用，位于汇集管端口处的风量传 感器对汇集管的出风量进行监测，当出风量小于一定的值时，控制器会立即控制原本处于打开状态的电子阀门关闭，原本处于关闭状态的电子阀门打开，这样循环的气体就会更换一条通 道，实现无缝衔接继续循环过滤。
