本文源自:金融界
金融界2024年12月2日消息，国家知识产权局信息显示，湖北江城芯片中试服务有限公司取得一项名为“一种晶圆的夹持固定装置”的专利，授权公告号CN 222071921 U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种晶圆的夹持固定装置，涉及半导体制造技术领域，该夹持固定装置包括支架、吸附卡盘和多个夹持顶针，吸附卡盘用于吸附晶圆，且吸附卡盘具有通孔；支架支撑夹持顶针，且夹持顶针能够穿过通孔顶升夹持晶圆；其中，夹持顶针包括支撑部和限位部，支撑部用于支撑晶圆，至少部分限位部的侧面能够与晶圆的侧面相接触，用于夹持晶圆。通过结构的改进能够有效避免晶圆出现滑片的问题，从而避免晶圆的损坏。
