本文源自:金融界
金融界2024年12月2日消息，国家知识产权局信息显示，国电投核力创芯（无锡）科技有限公司申请一项名为“一种高能氢离子注入过程中的晶圆冷却装置”的专利，公开号 CN 119049949 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种高能氢离子注入过程中的晶圆冷却装置，包括真空辐照舱，真空辐照舱用于为氢离子提供必要真空环境，所述真空辐照舱顶部安装有束流线：束流线用于引导高能氢离子以精确的轨迹射向目标，以保证辐照过程的效率和效果；托盘，安装于真空辐照舱内，用于承载晶圆，滚筒线，设置于托盘下方，用于将装有晶圆的托盘精确地移动到束流线下侧，确保晶圆处于氢离子的辐照范围内；所述滚筒线下方设置有半导体组件，用于吸收托盘上的热量，其优点在于，通过外部手段对托盘降温，进而对晶圆降温，不对晶圆直接降温，可靠性高。
