山东萱韵工程机械申请半导体加工用键合机专利,减缓键合劈刀与芯片相互作用力

山东萱韵工程机械申请半导体加工用键合机专利,减缓键合劈刀与芯片相互作用力
2024年12月02日 14:35 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年12月2日消息,国家知识产权局信息显示,山东萱韵工程机械有限公司申请一项名为“一种半导体加工用键合机”的专利,公开号 CN 119049985 A,申请日期为2024年8月。

专利摘要显示,本发明涉及芯片键合技术领域,公开了一种半导体加工用键合机。包括有机架,所述机架固接有镜像分布的第一固定架,镜像分布的所述第一固定架之间设置有动力装置,所述动力装置设置有电动推杆,所述电动推杆的伸缩端滑动连接有第一固定块,所述第一固定块一侧设有镜像分布的通孔,且其中一个通孔内设有单向阀,所述第一固定块远离所述电动推杆的伸缩端的一侧固接有键合劈刀。本发明通过第一固定块内通孔相互配合,减缓了键合劈刀在对芯片进行键合时二者间的相互作用力,从而对键合劈刀的端头形成保护,并使键合劈刀键合完成后快速脱离芯片表面,防止融化后的金属丝凝固导致键合劈刀与芯片粘连。

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