本文源自:金融界
金融界2024年12月2日消息，国家知识产权局信息显示，云际芯光（珠海）微电子有限公司申请一项名为“一种微型加热器及其制备方法”的专利，公开号 CN 119052962 A，申请日期为 2024 年 10 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种微型加热器及其制备方法，包括具有刻蚀槽的衬底；覆盖整个衬底的复合支撑层；沉积在复合支撑层上表面的加热层；覆盖加热结构的保护层；覆盖加热层和保护层的钝化层；设置在钝化层内部的金属散热层；方法包括：在衬底上表面形成复合支撑层；在复合支撑层上表面沉积加热层；加热层的加热结构上沉积用于覆盖加热结构的保护层；复合支撑层上表面沉积钝化层；钝化层上表面沉积金属散热层钝化层继续沉积到预定厚度以包裹金属散热层钝化层刻蚀出窗口，露出的连接电极上表面沉积 Pad 层；刻蚀衬底以形成刻蚀槽。该微型加热器薄膜结构稳定，散热性能好，热响应时间短，解决了传统微型加热器无法兼顾热响应速率与结构稳定性的问题。
