本文源自:金融界
金融界2024年12月3日消息，国家知识产权局信息显示，江苏芯梦半导体设备有限公司取得一项名为“一种晶圆盒夹取机械手”的专利，授权公告号 CN 222079271 U，申请日期为 2023 年 12 月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种晶圆盒夹取机械手，其能够减小第一/第二滑动件两侧受力的差值，减少磨损，利于夹持手臂的平稳精确移动。该晶圆盒夹取机械手包括：夹持组件，包括与安装板连接的两个连接板以及沿第一方向设置在连接板上的第一夹持手臂和第二夹持手臂，第一夹持手臂和第二夹持手臂配置为能够沿第一方向移动从而相对靠近或远离以夹持或释放晶圆盒；驱动组件，能够驱动第一夹持手臂和第二夹持手臂移动；滑动组件，包括第一滑动件和第二滑动件，第一滑动件和第二滑动件沿第一方向设置在安装板上；沿第二方向，第一滑动件和第二滑动件分别设置在两个连接板的端部，第一夹持手臂和第二夹持手臂能够沿着第一滑动件和第二滑动件移动。
