本文源自:金融界
金融界2024年12月3日消息,国家知识产权局信息显示,天津中环领先材料技术有限公司 中环领先半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种喷淋头结构及采用该喷淋头结构的清洗设备”的专利,公开号 CN 119056600 A,申请日期为 2024 年 9 月。
专利摘要显示,本发明提供了一种喷淋头结构及采用该喷淋头结构的清洗设备,涉及半导体清洗技术领域,该喷淋头结构包括:基座,内部设置第一通道;喷嘴,内部设置与第一通道连通的第二通道,喷嘴的顶端设置出液孔,第二通道内设置芯轴,芯轴能够多次改变第二通道内液流的流动方向;万向头,内部为中空结构,设置于基座与喷嘴之间,该喷淋头结构的喷淋范围更广,喷淋水雾更细小,喷淋压力更大。该清洗设备包括设备主体及上述的喷淋头结构,喷淋头结构安装于设备主体的喷淋主管路上,该清洗设备采用该喷淋头结构,清洗洁净度更高。
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