天津中环领先申请一种喷淋头结构及采用该喷淋头结构的清洗设备专利,使喷淋范围更广

天津中环领先申请一种喷淋头结构及采用该喷淋头结构的清洗设备专利,使喷淋范围更广
2024年12月03日 14:35 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年12月3日消息,国家知识产权局信息显示,天津中环领先材料技术有限公司 中环领先半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种喷淋头结构及采用该喷淋头结构的清洗设备”的专利,公开号 CN 119056600 A,申请日期为 2024 年 9 月。

专利摘要显示,本发明提供了一种喷淋头结构及采用该喷淋头结构的清洗设备,涉及半导体清洗技术领域,该喷淋头结构包括:基座,内部设置第一通道;喷嘴,内部设置与第一通道连通的第二通道,喷嘴的顶端设置出液孔,第二通道内设置芯轴,芯轴能够多次改变第二通道内液流的流动方向;万向头,内部为中空结构,设置于基座与喷嘴之间,该喷淋头结构的喷淋范围更广,喷淋水雾更细小,喷淋压力更大。该清洗设备包括设备主体及上述的喷淋头结构,喷淋头结构安装于设备主体的喷淋主管路上,该清洗设备采用该喷淋头结构,清洗洁净度更高。

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