捷造科技申请一种PECVD电极板垂直吊装辅助工装及其使用方法专利,能够保证电极与腔体的密封

捷造科技申请一种PECVD电极板垂直吊装辅助工装及其使用方法专利,能够保证电极与腔体的密封
2024年12月03日 20:55 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年12月3日消息,国家知识产权局信息显示,捷造科技(宁波)有限公司申请一项名为“一种PECVD电极板垂直吊装辅助工装及其使用方法”的专利,公开号CN 119059409 A,申请日期为2023年6月。

专利摘要显示,本发明公开了一种PECVD电极板垂直吊装辅助工装及其使用方法,包括:型材架,在所述型材架的上部设置多个垂直起吊组件,所述型材架沿不同方位设置至少四个C型钩组件,所述C型钩组件具有上钩头与下钩头,所述上钩头紧贴所述型材架的上部进行设置,所述下钩头远离所述型材架的下部进行设置,在所述上钩头与下钩头之间设置张紧机构,所述上钩头与所述型材架固定连接,所述下钩头通过所述张紧机构进行张开或扣紧活动。本发明的优点是:结构简单,操作方便;垂直起吊,安装精度有保证,能够保证电极与腔体的密封;安装效率高,对电极的保护较好,平均安装效率从1H下降至15min。

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