本文源自:金融界
金融界2024年12月4日消息，国家知识产权局信息显示，淮安捷泰新能源科技有限公司申请一项名为“一种LPCVD气路优化管道”的专利，公开号CN 119061375 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明涉及LPCVD系统技术领域，具体为一种LPCVD气路优化管道，包括硅烷管道，所述硅烷管道的一端安装有气动阀一，硅烷管道的一侧连通有旁路管道，旁路管道远离硅烷管道的一端安装有气动阀二，硅烷管道和旁路管道之间安装有阀门，硅烷管道上安装有用于阻挡硅粉吹向气动阀一的分隔组件；所述分隔组件包括与硅烷管道联通的横管，横管的内壁开设有两个轨道槽，轨道槽内滑动连接有滑块，滑块延伸至轨道槽外部的一端安装有根据硅烷管道和气动阀一的工作情况灵活调节开闭的管道封堵组件。解决了现有的LP气路吹扫系统容易将管道内的硅粉带动经过硅烷流量计，造成流量计粉尘污染，从而使流量计输出异常，造成蝶阀异常的问题。
