本文源自:金融界
金融界2024年12月4日消息，国家知识产权局信息显示，苏州赛森电子科技有限公司申请一项名为“一种基于步进电机的真空调压方法及系统”的专利，公开号 CN 119061385 A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请公开了一种基于步进电机的真空调压方法及系统，涉及半导体制造技术领域，其中，该方法包括：接收压力值数据及控制参数数据；将所述压力值数据及所述控制参数数据输入至调节装置中并生成控制量信息；基于所述控制量信息，利用计算装置生成控制量偏差信息；基于所述控制量偏差信息，将所述控制量偏差信息转换为脉冲指令信息；基于所述脉冲指令信息，脉冲控制装置及调速装置控制步进驱动器开启脉冲动作，并利用真空测量装置进行调压。本申请解决了现有设备无法在真空条件下进行调压的技术问题。
