本文源自:金融界
金融界2024年12月4日消息，国家知识产权局信息显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“管夹阀及半导体刻蚀工艺用温控设备”的专利，公开号CN 119062791 A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明提供一种管夹阀及半导体刻蚀工艺用温控设备，管夹阀包括阀座、阀芯、至少两个软管，阀芯转动设置于阀座，阀芯设置有多个不同的轴段；且在阀芯转动过程中，阀芯的不同轴段适于分别挤压不同的软管，以调节多个软管的流道截面积，通过控制阀芯的转动角度，可以实现多个软管通道流量的控制调节达到预期的控制量，且多个软管通道之间相互独立，避免了不同通道之间液体泄露和串液的可能性提高了系统的可靠性和安全性。
