本文源自:金融界
金融界2024年12月4日消息，国家知识产权局信息显示，国网江苏省电力有限公司电力科学研究院申请一项名为“集成硅基光波导电场传感器结构及其制备方法”的专利，公开号CN 119064684 A，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本发明涉及微型光学电压传感技术，尤其涉及一种集成硅基光波导电场传感器结构及其制备方法，包括：从一端至另一端依次集成于硅基芯片上的VCSEL激光源、光学敏感单元和光电探测器；光学敏感单元包括：入射光栅，入射光栅接收VCSEL激光源射出的激光；MZI调制结构，MZI调制结构的一端与入射光栅连通，且包括两条波导信道，两条波导信道对称设置；狭缝谐振微环，狭缝谐振微环设置于两条波导信道之间；电光聚合物，电光聚合物覆盖于狭缝谐振微环上，在外电场作用下，电光聚合物发生变化，通过倏逝场效应耦合至MZI调制结构中，将电场变化转化为光强变化；射出光栅，射出光栅与MZI调制结构的另一端连通，将光强变化后的激光射入光电探测器，实现电场的测量。本发明中，减小了装置体积，降低了制造成本。
