比亚迪半导体申请图像传感器制备方法和图像传感器专利,降低应力传递过程中的应力损失

比亚迪半导体申请图像传感器制备方法和图像传感器专利,降低应力传递过程中的应力损失
2024年12月05日 13:55 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年12月5日消息,国家知识产权局信息显示,比亚迪半导体股份有限公司申请一项名为“图像传感器的制备方法和图像传感器”的专利,公开号 CN 119069492 A,申请日期为2023年5月。

专利摘要显示,本发明公开了一种图像传感器的制备方法和图像传感器,所述图像传感器的制备方法包括:提供半导体衬底;在所述半导体衬底上制备栅沟槽;在所述栅沟槽内制备应力记忆介电层,以使得所述栅沟槽产生拉应力;去除所述应力记忆介质层采用该方法可以通过在栅沟槽内淀积应力记忆介电层,从而降低了应力传递过程中的应力损失,且增加了应力传递的效果。

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