本文源自:金融界
金融界2024年12月5日消息，国家知识产权局信息显示，无锡富创得智能科技有限公司取得一项名为“用于晶圆搬运的机械臂”的专利，授权公告号 CN 222096148 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本申请提供了一种用于晶圆搬运的机械臂，包括伸缩臂以及通过第一转动组件独立转动设置于伸缩臂末端的第一夹爪和第二夹爪；其中，第一夹爪的实体线通过第一转动组件上的第一走线通道进入伸缩臂内部，第二夹爪的电信号通过导电滑环传输至伸缩臂内部，气管通过第一转动组件上的气路进入伸缩臂内部，从而避免了第一夹爪和第二夹爪的实体线之间的干扰，以及第二夹爪转动过程中对实体线造成扭转的影响；保证了机械臂的第一夹爪和第二夹爪可以稳定和灵活的自由转动，提高了机械臂的灵活性和可靠性。本申请能够在实现大范围的晶圆搬运的同时，可以在一次动作中完成对不同工位的两块晶圆的搬运和取放。
