本文源自:金融界
金融界2024年12月7日消息，国家知识产权局信息显示，安徽熙泰智能科技有限公司申请一项名为“一种蒸镀机对位系统”的专利，公开号CN 119082665 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明提供了一种蒸镀机对位系统，所述蒸镀机对位系统包括：由腔体壁围成的腔室，所述腔室内设置有顶板，所述顶板将腔室分为两部分，顶板上方腔室为大气区，顶板下方腔室为真空腔体；位于大气区的振动隔离系统，用于隔离外界扰动；位于大气区的六轴平台，用于控制放置在其上的待蒸镀基板的位置和姿态；对位装置，所述对位装置包括设置在真空腔体内的静电吸盘和掩模板托盘机器视觉系统所述机器视觉系统设置在掩模板托盘下方的真空腔体内，用于对待蒸镀基板和掩模板的对位结果进行实时检测。使用本发明所述的对位系统，可以实现基板与掩模板之间0.1μm精度的对位，满足Real RGB结构Micro OLED器件制备需求。
