本文源自:金融界
金融界2024年12月9日消息，国家知识产权局信息显示，无锡盟璨智能科技有限公司申请一项名为“一种特殊形状晶圆的平坦度测量设备及测量方法”的专利，公开号 CN 119085540 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种特殊形状晶圆的平坦度测量设备及测量方法，包括测量底座，所述测量底座底部固定安装有支撑腿；测量腔室，所述测量腔室开设在测量底座内侧；激光传感器，所述激光传感器固定安装在测量底座内侧；控制模块，所述控制模块固定安装在测量底座外侧。该特殊形状晶圆的平坦度测量设备通过将第一密封圈设置在吸盘和晶圆本体之间，从而保证吸盘与晶圆之间的密封性，随后通过负压吸引器的负压吸引力，将晶圆本体与吸盘之间的空气抽空，使其之间保持一个真空状态，通过这种真空状态从而使晶圆本体固定在吸盘上端，此结构不仅可以最大程度的避免晶圆本体外侧受到磨损，且可以适用多种形状的晶圆，从而增加晶圆本体的适用性。
