上海华力申请优化的 Mapping 部件专利,解决现有的光阻剥离机台因不可控因素而导致的 Mapping 问题

上海华力申请优化的 Mapping 部件专利,解决现有的光阻剥离机台因不可控因素而导致的 Mapping 问题
2024年12月10日 10:37 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年12月10日消息,国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“优化的 Mapping 部件”的专利,公开号 CN 119092429 A,申请日期为 2024 年 8 月。

专利摘要显示,本发明提 供一种优化的 Mapping 部件,所述部件包括:蓝宝石窗口、窗口固定件及反射镜,所述窗口固定件呈环形,包括内侧部及外侧部,且其内侧部设有开口,所述蓝宝石窗口通过所述开口嵌入到所述窗口固定件中;所述反射镜设于所述窗口固定件的一侧,并与所述窗口固定件平行设置。通过本发明解决了现有的光阻剥离机台因不可控因素而导致的 Mapping 问题。

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