本文源自:金融界
金融界2024年12月10日消息，国家知识产权局信息显示，上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“一种对准标识的定位方法”的专利，公开号 CN 119092449 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本申请提供一种对准标识的定位方法，包括：步骤一，掩膜与掩膜工作台、晶圆与晶圆工作台以及掩膜工作台与晶圆工作台进行预对准；步骤二，实施粗对准，对准传感器横向扫描目标区域图形，通过光源信号来识别所扫描的目标区域图形的重复周期；步骤三，将步骤二中获得的重复周期与光刻机中设定的周期进行对比来确定所扫描的图形是否为正确的对准标识，形成第一图像；步骤四，对准传感器旋转90°后沿纵向在相同范围内扫描目标区域图形，形成第二图像；步骤五，通过第一图像和第二图像同时获得对准标识的周期与位置坐标；步骤六，输出对准标识的位置坐标，计算修正量。排除非对准标识图形的干扰，使对准标识定位更准确。
