本文源自:金融界
金融界2024年12月10日消息，国家知识产权局信息显示，楚赟精工科技（上海）有限公司申请一项名为“外延膜生长状态检测方法和检测系统”的专利，公开号CN 119092420 A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请提供外延膜生长状态检测方法以及执行外延膜生长状态检测方法的检测系统。本申请的外延膜生长状态检测方法在执行外延工艺的过程中，通过控制光学检测装置向外延膜出射特定波长范围光进行光学检测，并获取以及向主控装置发送外延膜的光强信息，并通过主控装置根据外延膜的光强信息、特定波长范围和主控装置预存的晶型对应关系数据进行计算，能够在外延膜生长过程中实现对膜表面晶型情况的实时监测评估。
