本文源自:金融界
金融界2024年12月11日消息,国家知识产权局信息显示,江苏协鑫硅材料科技发展有限公司申请一项名为“多晶硅铸锭工艺方法”的专利,公开号CN 119101990 A,申请日期为2023年6月。
专利摘要显示,本发明公开了一种多晶硅铸锭工艺方法,包括以下步骤:装料、抽真空阶段、加热阶段、熔化阶段和长晶阶段,在装料步骤中,向铸锭炉的坩埚内装入硅原料,在抽真空阶段中,对铸锭炉进行抽气,在对铸锭炉抽气的过程中向铸锭炉内充入氩气,在抽真空阶段结束后进入加热阶段,对坩埚加热,在熔化阶段中,坩埚内的硅原料熔化,以形成硅熔体,在长晶阶段中,坩埚内的硅熔体凝固长晶。根据本发明实施例的多晶硅铸锭工艺方法,可以减少铸锭炉内空间气体中杂质的含量,降低热场氛围释放出的杂质对硅原料的污染,使产出的多晶硅中硼、磷、金属等杂质的含量较少,保证产出的多晶硅的质量。
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