本文源自:金融界
金融界2024年12月12日消息，国家知识产权局信息显示，浙江求是半导体设备有限公司取得一项名为“用于晶圆花篮的机械手和脱胶插片清洗一体机”的专利，授权公告号CN 222126460 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种用于晶圆花篮的机械手和脱胶插片清洗一体机，所述用于晶圆花篮的机械手包括依次连接的第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构和夹具，其中第二驱动机构、第三驱动机构和夹具为对应设置的至少两个以使夹具能够沿第一方向、第二方向和第三方向移动，至少两个第二驱动机构间隔排布并设在同一第一驱动机构上，其中两个夹具沿第三方向的移动速度可具有差异。本实用新型的机械手中的两个夹具在第三方向的移动速度可具有差异，以使两个夹具在第二方向间隔排布的两个工位先后取放对应的花篮时耗时较短，且能够同时在第一方向间隔排布的两个工位上同时取放对应的花篮，从而具有较高的花篮转运效率。
